所属类别：电子工业用气
商品编号：b12
商品名称： 电子工业用磷化氢

商品描述：
执行标准：GB/T14601—1993
技术指标：(V/V)

组分名称	指标
	电子级	发光二级管级
磷化氢纯度10-2≥	99.9819	99.982
>砷化氢含量10-б≤	10	2
氢含量10-б≤	100	100
氮含量10-б≤	50	50
氧含量10-б≤	5	4
总烃含量10-б≤	4	4
水含量10-б≤	2	2

注：1、本标准不包括颗粒和重金属的技术要求；
2、磷化氢的保质期为一年。

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