所属类别：电子工业用气
商品编号：b11
商品名称：电子工业用 高纯氧

商品描述：
执行标准：(GB/ T14604—1993)
技术指标：(V/V)

组分名称	指标
	超大规模集成电路	半导体及集成电路	电子级和散装液
氧纯度, 10-2≥	99.9853	99.5	99.5
氢含量10-б≤	1	1	1
氩含量10-б≤	100	------	------
氮含量10-б≤	30	100	100
一氧化碳含量10-б≤	1	------	-------
二氧化碳含量10-б≤	1	-------	--------
一氧化碳二氧化碳含量10-б≤	--------	5	5
总烃含量(以甲烷计) 10-б≤	1	5	25
氧化亚氮含量10-б≤	1	2	2
氪含量10-б≤	10	--------	--------
水含量10-б≤	2	2	2
总杂质含量(包括稀有气体)10-б≤	147	5000	5000

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