所属类别：电子工业用气
商品编号：a13
商品名称：电子极 硅烷

商品描述：
执行标准：(GB/T15909—1995 )
技术指标：
(V/V)

项　目	指　标
纯度，10-2≥	99
一氧化碳+二氧化碳含量,10-б≤	5
氯化物总量(包括氯硅烷,HCI等可离子化的氯化物),10-б ≤	100
烃(C1～C3),10-б≤	40
氢,(H2)，10-б≤	9000
氮,(N2)，10-б≤	40
氧,(O2)，10-б≤	5
水(H2O)，10-б≤	3

注：1、表中纯度及杂质含量均以摩尔数表示moI/moI；<br>2、多晶硅或二氧化硅用途不规定氮含量。

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